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主要功能 | 对样品的微观形貌扫描,获得其微观形貌的图像。 |
主要技术指标 | "AFM系统为日本精工产品,主要由SPI3800N的扫描探针处理系统和SPA400原子力显微镜组成。SPI3800N的扫描探针处理系统主要包含以下几部分:显示器,计算机主机;SPI3800N控制箱,防震台。SPA400原子力显微镜组成部分:激光光头部分;微悬臂支架;样品槽;试样台。此外,原子力显微镜上配备有手动的 移动平台,电动的 平台和20 的压电陶瓷扫描台;同时配有放大倍数为150的CCD光学显微镜及监视器,可以对待测样品和激光点进行定位和调节。原子力显微镜横向分辨率±0.2 ,垂直分辨率±0.01 。控制用DSP采用40bit高速DSP,性能、处理速度高。具备2MB local memory,支援multitask处理。 轴/ 轴为18bit控制, 轴为21 bit的高分辨率测定。支持最大测定data点数为1024×1024,可得到高解析像度的image data。可同时进行4 通道测定。全部图形可同时在display上显示。" |
备 注 | 主要应用于晶体生长表面形貌等领域的研究。 |